動畫插圖顯示了臭氧分析儀的工作原理 

為了確定臭氧濃度，泵將環境空氣樣本通過過濾器吸入吸收室，在吸收室中，來自汞蒸氣燈的波長為 254nm 的紫外線照射樣本。

圖中的藍點表示示例路徑。該儀器檢測到紫外光強度相對于樣品中臭氧濃度的降低。

然后儀器測量一個“零”樣品，所有臭氧都被二氧化錳洗滌器去除（由綠點的路徑顯示）。

零濃度導致到達檢測器的光強度更高。兩個值之間的差異產生樣品中臭氧的濃度。

很后，儀器測量樣品經波長為 185nm 的紫外光照射產生臭氧（紅點路徑所示）。與實驗室標準進行比較可確保儀器正確響應。

然后采樣泵從吸收室中去除廢氣（灰點）。

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